關(guān)于氮化鋁陶瓷的應(yīng)用和特性
所屬分類：資訊動(dòng)態(tài) 點(diǎn)擊次數(shù)：565 發(fā)布日期：2021-12-09
氮化鋁作為一種理想的半導(dǎo)體基片材料和電子器件封裝材料，不僅導(dǎo)熱性能好，線膨脹系數(shù)與硅接近，體積電阻率高，介電常數(shù)和介電損耗小，而且無(wú)毒，耐高溫和腐蝕，力學(xué)性能良好，綜合性能遠(yuǎn)優(yōu)于Al2O3和BeO。
氮化鋁陶瓷具有優(yōu)良的熱、電、力學(xué)性能，所以它的應(yīng)用范圍比較廣?？梢灾瞥傻X陶瓷基片，熱導(dǎo)率高，膨脹系數(shù)低，強(qiáng)度高，耐高溫，耐化學(xué)腐蝕，電阻率高，介電耗損小，是理想的大規(guī)模集成電路散熱基板和封裝材料。
氮化鋁陶瓷硬度高，超過(guò)氧化鋁陶瓷，也可用于磨損嚴(yán)重的部位。利用氮化鋁陶瓷耐熱耐熔體侵蝕和熱震性，可制作GaAs晶體坩堝、Al蒸發(fā)皿、磁流體發(fā)電裝置及高溫透平機(jī)耐蝕部件，利用其光學(xué)性能可作紅外線窗口。氮化鋁薄膜可制成高頻壓電元件、超大規(guī)模集成電路基片等。
氮化鋁耐熱、耐熔融金屬的侵蝕，對(duì)酸穩(wěn)定，但在堿性溶液中易被侵蝕。氮化鋁新生表面暴露在濕空氣中會(huì)反應(yīng)生成極薄的氧化膜。利用此特性，可用作鋁、銅、銀、鉛等金屬熔煉的坩堝和燒鑄模具材料。氮化鋁陶瓷的金屬化性能較好，可替代有毒性的氧化鈹瓷在電子工業(yè)中廣泛應(yīng)用。
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